设备采用先进的直线电机驱动技术，床身为量具级的大理石作为平台，传感器采用基恩士/松下的高速高精度激光为宜传感器。传感器的移动速度最高可以达到1000mm/s，最大加速度可以达到9m/s，单电测量时间可以控制在50ms以内。尺寸测量分辨率为0.1μm，测量的尺寸实际误差小于0.01mm。整个设备操作简单易学，易于产线工人上手。